管理番号:4161

プラズマリアクター 小型プラズマ装置 PR301

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プラズマリアクター 小型プラズマ装置 PR301|中古・レンタル インターリンク
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メーカー名
ヤマト科学
型式
PR301
年式
不明
付属品
・油回転式真空ポンプGCD-136X
取扱説明書
あり
備考
仕様
【本 体】
■方式:DP方式バレル型
■高周波出力:Max300W
■発振周波数:13.56MHz
■同調方式:手動2軸同調方式
■反応槽:パイレックス製φ118×160mm
■反応ガス系:1系統
■制御系:自動減圧、自動リークバルブ
■配管系材質:SUS、テフロン
■外形寸法(mm):W438×D520×H656
■重量:34kg
■電源容量:AC100V 7A ※ブレーカー容量及び電源設置容量 15A

【真空ポンプ】
■実効排気速度:135/162L/min
■到達圧力:G.V.Closed/0.67Pa・G.V.Open/6.7Pa
■使用電動機:AC100V 400W
■全負荷電流:7.7A/6.1A
■質量:25.4kg
■吸気管径:KF-25
■寸法(mm):W170×D493×H241.1
税別価格
お問合せください
<ご案内>
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装置により確認内容は異なりますので詳細はお問い合わせ下さい。
ご検討の際はご来社(要予約)頂き、実機の確認をお勧め致します。
機器該当ホームページ掲載情報についてはカタログ情報を基に記載しており実機と異なる場合がございます。
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